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先日の尾道無料英会話道場で「半導体製造におけるプラズマ」(写真)をテーマに例会が行われました。
私は体調不良で残念ながら参加できませんでしたが、これは化学反応を利用した環境に優しい精密なモノづくりの手法の一つです。
プラズマ利用のポイントは使用する物質の原子の反応性を高めて、目的(薄膜生成、洗浄、彫刻など)を達成することです。
今回のこのテーマの資料を読んで、企業に化学研究員として勤務していた時に応用した反応を久しぶりに思い出しました。(写真の内、化学式で示されているのが基本的な内容)
自然界にも常温で反応性の高い原子が存在します。
これを上手に利用すれば必ずしもエネルギーを加えなくても(環境に優しい条件下で)化学反応が期待でき、物質の化学的改質や、新物質の化学合成が可能なのです。
A recent meeting of the Onomichi Free English Conversation Dojo was held on the theme of "Plasma in
Semiconductor Manufacturing" (photo).
Unfortunately I was not able to attend due to illness, but this is one of the environmentally friendly methods of precision manufacturing using chemical reactions.
The point of using plasma is to increase the reactivity of the atoms of the materials used to achieve the desired purpose (thin film generation, cleaning, engraving, etc.).
Reading the material on this subject reminded me for the first time in a long time of the reactions I applied when I worked as a chemical researcher in a company. (The basic contents are shown by
chemical formulas in the pictures)
There are atoms in nature that are highly reactive at room temperature.
If we make good use of them, we can expect chemical reactions without necessarily adding energy (under environmentally friendly conditions), and chemical modification of substances and chemical
synthesis of new substances are possible.